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半导体气体传感器的工作原理,有没有好心的车友帮帮忙?

遇到半导体气体传感器的工作原理这个问题怎么办?车友们有没有什么好的办法吗?

提问者: 仲生 | 2019-12-09 512

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有两种原理不同的气敏二极管。其中的“金属氧化物气敏二极管”是在硅半导体材料表面(隔着一层氧化硅绝缘层)蒸镀一层对各种气体敏感的金属氧化物,比如氧化镉,氧化钛,氧化锌等等。这些金属氧化物遇到特定的敏感气体分子时会改变介电常数,导致二极管的结电容发生变化。通过测量二极管的结电容可以测量敏感气体的浓度。

回答者: 丁纪雯 | 2021-06-14

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